CVD化学气相淀积试验技术解释分析
新闻分类: 技术资讯 浏览:2237 日期:2012/12/31
CVD全英文是Chemical Vapor Deposition中文是“化学气相淀积”,是指含有构成薄膜元素的气态反应剂,液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室里,管式电炉在衬底表面发生化学反应生成薄膜的重要过程。 在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备经过CVD处理后,表面处理膜密着性约提高30%,防止高强力钢的弯曲,拉伸等成形时产生的刮痕。
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