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CVD化学气相淀积试验技术解释分析
新闻分类:  技术资讯    浏览:2237    日期:2012/12/31    

    CVD全英文是Chemical Vapor Deposition中文是“化学气相淀积”,是指含有构成薄膜元素的气态反应剂,液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室里,管式电炉在衬底表面发生化学反应生成薄膜的重要过程。

 
     曾经在VCD机生产商竞争的年代,内部定制的一种碟片标准,具有多层菜单,用的C-CUBE公司的芯片. 

    在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备经过CVD处理后,表面处理膜密着性约提高30%,防止高强力钢的弯曲,拉伸等成形时产生的刮痕。

    CVD的特点淀积温度低,薄膜成份易控膜厚淀积时间成正比,均匀性重复性好,电炉台阶覆盖性优良。

 

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