在对气路连接的方式用了较快速连接法兰结构从而使取放物料过程简化到最快，仅仅需一支卡箍就可以完成气路的连接，并取消了复杂法兰的安装，减少了炉管因安装造成损坏的几率大幅下降。

    cvd真空管式炉炉膛材料采用的多晶莫来纤维真空吸附制成，可使物料在不同温度段可同时加温，更有效的节能，节能50%，温场均匀。电热元件一端采用表面温度1690℃的硅钼棒，另一端用温度1500℃的硅碳棒。密封法兰采用双环密封的技术，提高炉管两端的气密。

    消除气路总成自身的应能力，且杜绝自身应力而造成的炉管损坏。气路具有进出气微量可调，两端气路支架支撑着气路装置先进的空气隔热技术，结合的热感应技术，在炉体表面温升到达50℃左右时排温风扇将自动启动加快体表降温速度。