4路质子混气PECVD系统-GSL-1200X开启式管式炉为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）， 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。

 技术参数如下：
实验机理     
辉光放电等离子体中：电子密度高109-1012cm3
电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍
产品特点
虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。这类具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。
郑州科晶公司提供定制的薄膜材料的实验室质量可靠、价格非常合理的紧凑型PECVD系统。
 
开启式管式炉
工作温度：1200℃
可选炉管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80
温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器
加热区长度：440mm
恒温区长度：150mm
功率：AC 220V 4KW
等离子射频电源                      
输出功率：50-500W最大可调±1%
RF频率： 13.56MHz，稳定性±0.005%
噪声：≤55DB
冷却：风冷
输入功率：1KW  AC 220V
真空泵和阀门                         
采用KF25系列波纹管和精密针阀连接
真空度可达10-3torr
数字真空压力表可直观的显示数值
可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5至 1125Torr.不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

质量流量计
内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量
气体流量范围为0-200 误差为0.02%
一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀
不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入
进气口：采用国际标准双卡套接头
 
外形尺寸
炉体：550*380*520mm
供气及真空系统：600*600*597mm
净重：120KG

质保期
一年质保期相关耗材除外，如加热元件，密封圈等易耗件
质量认证：